Taramalı Elektron Mikroskobu (SEM)
Taramalı Elektron Mikroskopisi’nde, elektron kaynağından koparılan elektronlar vakum altında bulunan bir kolonda toplayıcı mercekler yardımıyla numune üzerine düşürülmekte, numune yüzeyinde bulunan atomlarla elektron demetinin etkileşmesi sonucunda ortaya çıkan parçacıklar ve x-ışınları detekte edilerek, incelenmekte olan örneğin topoğrafyası ve kimyasal kompozisyonu hakkında bilgi edinilmektedir.
Yüzey atomlarından saçılan ikincil elektronlar örnek yüzeyi hakkında bilgi verirken, geri saçılan elektronlar farklı kimyasal kompozisyonlara sahip bölgeler arasındaki kontrast farkı vasıtasıyla örnek yüzeyindeki elementel farklılıkları tespit etmede kullanılırlar. Geri saçılan elektronlar ayrıca elektron geri saçılım difraksiyonu (EBSD) görüntüsü sağlayarak, örneğin kristalografik yapısını belirlemede yardımcı olurlar. Örnekle elektron demetinin etkileşmesi sonucu ortaya çıkan x-ışınları ise bir EDS dedektörü tarafından toplanarak, Enerji-Dağılımlı X-Işınları Spektroskopisi’nde kullanılmaktadır.
Merkezimizde faaliyet göstermekte olan Thermo Fisher Scientific Apreo S marka/model taramalı elektron mikroskobu, Alan Emisyonlu Elektron Tabancası’na sahip olup, 1 kV’da 1 nm görüntü çözünürlüğüne sahiptir. 0.2 – 30 kV aralığında çalışmakta olan mikroskop ile ilgili detaylı bilgi aşağıdadır.
Thermo Fisher Scientific Apreo S SEM
En yetenekli yüksek-performanslı SEM
Apreo S'in devrimsel bileşik lens tasarımı elektrostatik ve elektromanyetik immersiyon teknolojilerini kombine ederek eşi görülmemiş çözünürlük ve sinyal seçimini sağlamaktadır. Bu Apreo S platformunu nanoparçacık, katalist, toz ve nano cihaz araştırmalarında, manyetik örnek performansından ödün vermeden çalışmak için mükemmel bir seçim haline getirmektedir.
Apreo S, eşsiz in-lens geri saçılma dedeksiyonundan faydalanır, bu tilt durumunda, kısa çalışma mesafesinde veya hassas örneklerde bile mükemmel malzeme kontrastı sağlamaktadır. Yeni çıkan bileşik lens yapısı, yalıtkan numunelerin görüntülenmesinde enerji filtrelemesi ve yüklenme filtrelemesi ile yüksek kontrast sağlamaktadır. Opsiyonel low vakum modu 500 Pa maksimum numune odası basıncı sağlayarak en yalıtkan malzemelerin bile görüntülenmesini sağlamaktadır.
Tüm bu seçenekler, birleşik final lens de dahil olmak üzere, ileri seviye dedeksiyon ve örnek çeşitlerinde esneklik sağlar.
Yeni Apreo S taramalı elektron mikroskobu (SEM), nanoparçacıklar, metaller, kompozitler ve kaplamalar gibi çok çeşitli malzemeler için performans sağlamaktadır ve daha iyi çözünürlük, kontrast ve kullanım kolaylığı sunmaktadır.
- Eşsiz bileşik final lens teknolojisi 1 kV’da herhangi örnekte tilt edilmiş ya da topografig olsa bile beam deceleration' a gerek kalmadan 1 nm' lik çözünürlük verir.
- En kullanışlı geri saçılma dedeksiyonu - düşük voltaj ve demet akımlarında bile, tiltten bağımsız olarak, demete hassas numunelerde bile malzeme kontrastına her zaman ulaşılmaktadır.
- Eşsiz dedektör esnekliği - farklı dedektör segmentlerinden gelen bilgilerin birleştirilmesi ile daha çok önem verilen kontrast veya sinyal şiddeti elde edilebilmektedir.
Dedektörler
- Trinity Dedeksiyon Sistemi (in-lens ve in-column)
- T1 düşük in-lens dedektörü
- T2 yüksek in-lens dedektörü
- T3 in-column dedektörü
- Everhart-Thornley İkincil Elektron dedektörü (ETD)
- Geri saçılan elektron Dedektörü (BSED) - Mercek altında geri çekile bilinir
- Düşük Vakum Dedektörü (LVD)
- Pathfinder X-ray Mikroanaliz Sistemi
- Thermo Scientific UltraDry Enerji Dağılımlı X-ışını Spektroskopisi Dedektörü (EDS)
- Thermo Scientific Quasor II Elektron Geri Saçılım Difraksiyonu Dedektörü (EBSD)
- Nav-Cam+™ Odacığa Monte Kamera
Cihaz Sorumluları:
1. Öğr. Gör. Dr. Hasan Köseoğlu
E-mail: hasan.koseoglu@iste.edu.tr
Telefon: 0 (326) 613 56 00
Dahili: 3153
2. Öğr. Gör. Mustafa Göktan Aydın
E-mail: goktan.aydin@iste.edu.tr
Telefon: 0 (326) 613 56 00
Dahili: 3150
